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高純氨

高純氨主要應(yīng)用于新型光電子材料領(lǐng)域，是MOCVD技術(shù)制備GAN的重要基礎(chǔ)材料。由GAN生產(chǎn)高靈敏度藍(lán)光發(fā)光二級管和藍(lán)光激光器，以及其它相關(guān)電子器件，是國內(nèi)外都在搶占的產(chǎn)業(yè)。高純氨還是制備三氟化氮、氮化硅、的基礎(chǔ)材料，是生產(chǎn)超高級氮的原料氣。此外，液氨廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。

商品詳細(xì)介紹
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.（一種無色，有毒，可燃，具腐蝕性的可液化氣體）
Formula(分子式)：	NH3
Molecular weight(分子量):	17.03g/mol
Boiling point(沸點(diǎn)):	-33.4℃	28.1°F
Melting point(熔點(diǎn))：	-77.7℃	107.9°F
Vapor pressure(蒸汽壓):	888KPa（21.1℃）	129Psia(70°F)
Specific volume(比容):	1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa）
Specific volume(比容):	22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)：	15%
Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)：	30%
Threshold Limit Value（人體的最高容許濃度）:	25ppm
DOT Classification(DOT類別):	2.2(Flammable Gas)(可燃性氣體)
DOT Lable(DOT標(biāo)簽):	FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)

電子工業(yè)用氣體氨（GB/T14601-2009)
項(xiàng)目名稱	電子級	光電子級
氨（NH₃）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2 ≥	99.9995	99.99994
氧（O₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	1	0.1
氮（N₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6＜	1	—
氫（H₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	—	0.1
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6＜	1	0.05
二氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6＜	—	0.1
烴（C₁～C₃）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6＜	1	0.05
水分（H₂O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6＜	3	0.2
總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6≤	5	0.6

應(yīng)用：晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜

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