 | | 名稱：六氟乙烷 型號： | |  |  | |
六氟乙烷C2F6
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商品詳細介紹 |
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A colorless，nonflammable，compressed gas.(一種無色不燃壓縮氣體) |
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Formula(分子式)： |
C2F6 |
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Molecular weight(分子量): |
138.01g/mol |
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Boiling point(沸點): |
-78.2℃ |
-108.76°F |
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Melting point(熔點)： |
-100.7℃ |
-149.27°F |
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Vapor pressure(蒸汽壓): |
2965KPa（21.1℃） |
430Psia(70°F) |
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Specific volume(比容): |
0.174m3/kg(21.1℃,101.325KPa） |
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2.8ft3/lb(70°F,14.696psia) |
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UN Number(UN號碼)： |
UN2193 |
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DOT Classification(DOT類別): |
2.2(Nonflammable Gas)(不燃性氣體) |
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DOT Lable(DOT標簽): |
NON-FLAMMABLE GAS(不燃性氣體) |
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Grsde(級別): |
5N |
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Purity(純度): |
99.999% |
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純度規(guī)格 |
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Impurity(非組分): |
Specification(標準） |
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Oxygen(氧): |
≤2.0 ppmv |
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Nitrogen(氮): |
≤8.0 ppmv |
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Carbon Dioxide(二氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
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Carbon Monoxide(一氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
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Other Organics(其他有機物)： |
≤0.1 ppmv |
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Water(水): |
≤1.5 ppmv |
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Acidity as HF(酸化物，如氟化氫)： |
≤0.1 ppmv |
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包裝 |
容積 |
重量 |
連接閥門 |
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小鋼瓶 |
44L |
43Kg |
CGA660 DISS716 |
應用：刻蝕氣體/等離子刻蝕
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